真空系统
直线式劳挨透镜镀制机
产品特点
- 直线式劳埃透镜镀制机，是为高能同步辐射光源（HEPS）硏发的高端仪器装备，用于制备硬X射线纳米聚焦的劳埃透镜膜层。最主要的特点是膜层层数多（数千层甚至更多）且膜层位置和厚度精度高（总位置平均误差小于±5nm ,每层的厚度误差小于0.1nm）。为了保证楔形膜的要求精度，系统采用磁控溅射与基片变加速运动控制技术 相结合进行膜层制备，其优点是，能够精确控制膜层厚度及或膜形状，重复性好,薄膜与基片结合紧密，薄膜纯度高、致密性好。
应用领域
- 技术指标
- 尺寸
- 产品特性
- 配件
- 下载
- 运动系统直线度
- ≤30μm/1000mm
- 运动系统速率稳定性
- ≤0.1% /300mm
- 基板加热最高温度
- 200℃
- 靶位数
- ≥9个
- 靶与样品间距离
- 60~100mm手动可调
- 沉积室极限真空度
- ＜8×〖10〗^(-6)Pa
- 检测室腔室漏率
- ＜1×〖10〗^(-8)Pa∙L/s
- 检测室极限真空度
- ＜8×〖10〗^(-6)Pa
- 进样室基板加热最高温度
- 500℃
- 进样室本底极限真空度
- ＜8×〖10〗^(-5)Pa
| 文件名 | 类型 | 语言 | 日期 | 文件大小 |