真空系统
多工位真空储存柜
产品特点
- 洁净度达到半导体级洁净度，设备极限真空度达到10E-5Pa。
应用领域
真空存储柜应用于芯片及电子器件生产过程中的产品暂存，可防止器件被氧化。
- 技术指标
- 尺寸
- 产品特性
- 配件
- 下载
- 抽真空模式，充入氮气量可设定，真空度可设定
- 每个工位可独立控制，可单独抽气和放气。
- 系统漏率
- <2×10E-3 Pa∙mE3/s
- 极限真空度
- 5×10E-5Pa
- 工作真空度
- 8×10E-3Pa
| 文件名 | 类型 | 语言 | 日期 | 文件大小 |