真空获得

FF-40/25

产品特点

  • 国内最小口径分子泵;
  • 紧凑型结构设计,便于集成,可以实现24VDC供电后分子泵直接运行;
  • 低功耗、低振动、节能;
  • 更高前级耐压,适合分析仪器行业;
  • 可任意角度安装

应用领域

硅刻蚀玻璃镀膜PVD镀膜科研应用表面分析加速器太阳能热处理
  • 技术指标
  • 尺寸
  • 产品特性
  • 配件
  • 下载
  • 进气口法兰(ISO-KF)
    DN40
    排气口法兰(ISO-KF)
    DN16
  • 抽速速率(L/s)
    N2:22  He:18  H2:11  Ar:25
    压缩比
    N2: 1E6  He:1E2  H2:1E2  Ar:1E6
  • 极限压强(Pa)
    1E-4
    最大连续前级压强(Pa)
    500
  • 最大前级压强(Pa)
    N2:1000
    最大气载量(sccm)
    N2:23  He:18  H2:12  Ar:28
  • 额定转速(RPM)
    36000
    启动时间(min)
    ≤3
  • 冷却方式
    风冷
    电源电压(V AC)
    DC24/AC220
  • 最大功率(W)
    70
    适配电源型号
    TD-25/TCP-100/TC-100
  • 建议前级泵(L/s)
    0.5~1
    重量(kg)
    3



    文件名 类型 语言 日期 文件大小

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