真空获得
CXF-320/3001
产品特点
- 节能：无摩擦，避免摩擦热损耗、较其它类型产品能耗降低30％
- 高效：更长的连续工作时间、高气流量和高抽速
- 灵活：紧凑型结构，满足更小的物理空间需求、任意角度安装，适合各种设计需求、丰富扩展功能，满足客户定制化需求
应用领域
- 技术指标
- 尺寸
- 产品特性
- 配件
- 下载
- 抽速速率（L/s）
- N2：3000 Ar：2750 He：2300 H2：1100
- 压缩比
- N2：＞1E8 Ar：＞1E8 He：＞1E4 H2：＞1E3
- 极限压强（Pa）
- 10-7（橡胶密封）
- 进气口法兰
- DN320 ISO F（标配）
- 排气口法兰
- KF40
- 额定转速（rpm）
- 21000
- 启动时间（min）
- ≤12
- 停机时间（min）
- ≤26
- 安装方式
- 任意角度
- 冷却方式
- 水冷
- 推荐前级泵抽速（l/s）
- ≥30
- 供电电源（V AC）
220±10％，50Hz 110±10％，60Hz
- 重量（kg）（ISO F）
- 76
- 推荐冷却水温度（℃）
- 20±5
- 冷却水流量（L/min）
- 3
- 最大瞬时入口流量（sccm）
- N2：2100
- 最大连续出口压强（Pa）
- 300
CXF-320/3001型一体磁悬浮分子泵的外形如图所示，外形对应尺寸详细数值见表。
CXF-320/3001型泵外形尺寸参数表（单位：mm）
|
型号 |
CXF-320/3001 |
||
|
入口法兰 |
ISO F |
||
|
A |
417 |
M |
52.5 |
|
B |
328 |
N |
191 |
|
C |
288 |
O |
30° |
|
D |
285 |
P |
189 |
|
E |
425 |
Q |
176 |
|
F |
342 |
R |
30° |
|
G |
358 |
S |
10 |
|
H |
337 |
T |
40 |
|
I |
153.5 |
U |
95 |
|
J |
168.5 |
V |
231 |
|
K |
84 |
W |
66 |
|
L |
198.5 |
|
|
| 文件名 | 类型 | 语言 | 日期 | 文件大小 |