真空获得

CXF-200/1401

产品特点

  • 节能:无摩擦,避免摩擦热损耗、较其它类型产品能耗降低30%
  • 高效:更长的连续工作时间、高气流量和高抽速
  • 灵活:紧凑型结构,满足更小的物理空间需求、任意角度安装,适合各种设计需求、丰富扩展功能,满足客户定制化需求

应用领域

半导体光伏平板显示装饰镀膜功能镀膜科学研究新能源新材料高能物理
  • 技术指标
  • 尺寸
  • 产品特性
  • 配件
  • 下载
  • 抽速速率(L/s)
    N2:1400  Ar:1360  He:880  H2:560
    压缩比
    N2:>1E7  Ar:>1E7  He:>1E4  H2:>1E3
  • 极限压强(Pa)
    1E-6(橡胶密封)   1E-7(金属密封)  
    进气口法兰
    DN200 ISO F(标配)  DN200 CF(可选)   DN200 LF(可定制) 
  • 排气口法兰
    KF40
    额定转速(rpm)
    30000
  • 启动时间(min)
    ≤6
    停机时间(min)
    ≤16
  • 安装方式
    任意角度
    冷却方式
    水冷
  • 推荐前级泵抽速(l/s)
    ≥16
    推荐冷却水温度(℃)
    20±5
  • 供电电源(V AC)

    220±10%,50Hz            110±10%,60Hz

    重量(kg)(ISO F)
    51
  • 冷却水流量(L/min)
    2
    最大瞬时入口流量(sccm)
    N2:1100
  • 最大连续出口压强(Pa)
    300
  • CXF-200/1401型一体磁悬浮分子泵的外形如图所示,外形对应尺寸详细数值见表。

    CXF-200/1401型泵外形尺寸参数表(单位:mm

    型号

    CXF-200/1401

    CXF-200/1401

    入口法兰

    ISO F

    ICF

    A

    388.5

    M

    53

    A

    426

    M

    53

    B

    299.5

    N

    172

    B

    437

    N

    172

    C

    259.5

    O

    42°

    C

    297

    O

    42°

    D

    250.5

    P

    160

    D

    288

    P

    160

    E

    285

    Q

    155

    E

    253

    Q

    155

    F

    241

    R

    30°

    F

    241

    R

    30°

    G

    278

    S

    10

    G

    278

    S

    10

    H

    278

    T

    40

    H

    278

    T

    40

    I

    139

    U

    95

    I

    139

    U

    95

    J

    139

    V

    202

    J

    139

    V

    202

    K

    101

    W

    53.5

    K

    101

    W

    53.5

    L

    192

     

     

    L

    192

     

     

    文件名 类型 语言 日期 文件大小

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